Trong toàn bộ chuỗi công nghiệp bán dẫn, chế biến và sản xuất là một trong những mắt xích quan trọng nhất. Với một thị trường rộng lớn như vậy, thiết bị xử lý bán dẫn cung cấp cơ sở sản xuất cho quá trình sản xuất bán dẫn quy mô lớn. Bài báo này sẽ tập trung vào các thiết bị chính trong quá trình sản xuất chất bán dẫn là gì.
1, lò đơn tinh thể
Chức năng thiết bị: nấu chảy vật liệu bán dẫn, kéo đơn tinh thể, cho quá trình sản xuất thiết bị bán dẫn tiếp theo, cung cấp phôi bán dẫn đơn tinh thể.
Các thương hiệu quốc tế lớn: PVA TePla AG (Đức), Ferrotec (Nhật Bản), QUANTUM DESIGN (Mỹ), Gero (Đức), KAYEX (Mỹ).
Các thương hiệu lớn trong nước: Beijing Jingyuntong, Seven Star Huaxuang, Beijing Jingyi Century, Hebei Jinglong Sunshine, Xi' an Jinko Technology, Changzhou Huasheng Tianlong, Shanghai Hanhong, Xi' an Huade, The 48th Institute của Tập đoàn Công nghệ Điện tử Trung Quốc, Shanghai Shenhe Thermal Magnetic.
2. Lò biểu mô pha khí
Chức năng thiết bị: cung cấp môi trường quy trình cụ thể cho sự phát triển biểu mô pha khí, nhận ra sự phát triển của các tinh thể lớp mỏng có mối quan hệ tương ứng với pha tinh thể đơn trên đơn tinh thể, và chuẩn bị cơ bản cho việc thực hiện chức năng của chìm đơn tinh thể. Tiêm pha khí là một quá trình lắng đọng hơi hóa học đặc biệt, trong đó cấu trúc tinh thể của lớp mỏng tăng trưởng là sự tiếp nối của chất nền đơn tinh thể và tương ứng với sự định hướng tinh thể của chất nền.
Các thương hiệu quốc tế lớn: Thiết bị CVD, GT, Soitec, AS, Proto Flex, Kurt J.Lesker, Vật liệu ứng dụng.
Các thương hiệu lớn trong nước: Viện công nghệ điện tử Trung Quốc 48th, Qingdao Cerida, Hefei Kojing Material Technology Co., LTD., Beijing Jinsheng Micro nano, Jinan Liguan Electronic Technology Co., LTD.
3. Hệ thống epitaxy chùm phân tử
Chức năng của thiết bị: Hệ thống epitaxy chùm phân tử, cung cấp các thiết bị quy trình nuôi cấy màng trên bề mặt đáy theo yêu cầu cụ thể; Epleaxy chùm phân tử (MBEA) là một kỹ thuật chuẩn bị màng mỏng đơn tinh thể. Nó được sử dụng để nuôi cấy các màng mỏng từng lớp dọc theo trục tinh thể của chất nền trong điều kiện chất nền thích hợp và thích hợp.
Các thương hiệu quốc tế lớn: Riber (Pháp), Veeco (Mỹ), DCA Instruments (Phần Lan), SVTAssociates (Mỹ), NBM (Mỹ), Omicron (Đức), MBE-Komponenten (Đức), Oxford Applied (Anh) Research (OAR ) Công ty.
Các thương hiệu lớn trong nước: Shenyang Zhongke Instrument co., LTD., Beijing Huidexin Technology Co., LTD., Shaoxing Kuangtai Instrument Equipment Co., LTD., Shenyang Keyou Vacuum Technology Co., LTD.
4. Lò oxy hóa (VDF)
Chức năng thiết bị: Để xử lý oxy hóa vật liệu bán dẫn, cung cấp bầu không khí oxy hóa cần thiết, để đạt được thiết kế mong đợi của quá trình xử lý oxy hóa chất bán dẫn, là một mắt xích không thể thiếu trong quá trình xử lý chất bán dẫn.
Các thương hiệu quốc tế lớn: Công ty Thermco của Anh, Công ty Centrotherm Thermal Solutions GmbH Co.KG của Đức.
Các thương hiệu lớn trong nước: Beijing Seven Star Huaxuang, Qingdao Freunde, Viện công nghệ điện tử Trung Quốc 48, Qingdao Xuguang Instrument Equipment Co., LTD., Viện 45 tập đoàn công nghệ điện tử Trung Quốc.
5. Hệ thống lắng đọng hóa chất áp suất thấp (LPCVD)
Chức năng thiết bị: Hơi chứa tác nhân phản ứng dạng khí hoặc lỏng tạo thành các phần tử của màng và các khí khác cần thiết cho phản ứng được đưa vào buồng phản ứng của thiết bị LPCVD, và màng được tạo ra bằng phản ứng hóa học trên bề mặt đế .
Các thương hiệu quốc tế lớn: Công ty Điện lực Quốc tế Hitachi,
Các thương hiệu lớn trong nước: Shanghai Chijian Semiconductor Technology Co., LTD., Tập đoàn Công nghệ Điện tử Trung Quốc Viện 48, Viện Công nghệ Điện tử Trung Quốc Viện 45, Nhà máy Dụng cụ Bắc Kinh, Nhà máy Máy móc Thượng Hải.
6. Hệ thống lắng đọng hơi hóa chất tăng cường trong huyết tương (PECVD)
Chức năng của thiết bị: sử dụng phóng điện phát sáng trong buồng lắng đọng, làm ion hóa nó và tiến hành phản ứng hóa học trên đế lắng đọng vật liệu màng mỏng bán dẫn.
Các thương hiệu quốc tế lớn: Proto Flex (Mỹ), Tokki (Nhật Bản), Shimadsu (Nhật Bản), Lam Research (Mỹ), ASM International (Hà Lan).
Các thương hiệu lớn trong nước: Viện 45 Tập đoàn Công nghệ Điện tử Trung Quốc, nhà máy Dụng cụ Bắc Kinh, Nhà máy Máy móc Thượng Hải.
7. Bảng phún xạ Magnetron (MSA)
Chức năng của thiết bị: thông qua một từ trường khép kín song song với bề mặt mục tiêu trong phún xạ lưỡng cực, và trường điện từ trực giao hình thành trên bề mặt mục tiêu, điện tử thứ cấp được liên kết với khu vực cụ thể của bề mặt mục tiêu, để đạt được mật độ ion cao và cao. sự ion hóa năng lượng, và các nguyên tử hoặc phân tử đích được lắng đọng trên chất nền với sự phún xạ tốc độ cao để tạo thành màng.
Các thương hiệu quốc tế lớn: Công ty PVD, Công ty Vaportech, Công ty AMAT, Công ty Hauzer, Công ty Teer, Công ty Platit, Công ty Balzers và Công ty Cemecon.
Các thương hiệu lớn trong nước: Nhà máy Dụng cụ Bắc Kinh, Công ty TNHH Dụng cụ Shenyang Zhongke, Công ty TNHH Công nghiệp Thành Đô Nanguang, Viện Công nghệ Điện tử Trung Quốc 48th, Công ty TNHH Thiết bị Kerui, Nhà máy Máy móc Thượng Hải.
8. Máy đánh bóng cơ khí hóa học (CMP)
Chức năng thiết bị: thông qua quá trình nghiền cơ học và hòa tan chất lỏng hóa học" ăn mòn" của hiệu ứng kết hợp, được đánh bóng (chất bán dẫn).
Các thương hiệu quốc tế lớn: Vật liệu ứng dụng, Norfa Systems, Rtec.
Các thương hiệu lớn trong nước: Lanzhou Lanxin High-tech Industry Co., LTD., Alite Microelectronics.
9, máy in thạch bản
Chức năng thiết bị: keo đều trên bề mặt của đế bán dẫn (silicon wafer), chuyển mẫu trên mặt nạ sang photoresist, và tạm thời" copy" thiết bị hoặc cấu trúc mạch của tấm silicon.
Các thương hiệu quốc tế lớn: ASML (Hà Lan), Pan Lin Semiconductor, Nikon, Canon, ABM, SUSS, MYCRO.
Các thương hiệu lớn trong nước: Viện Công nghệ Điện tử Trung Quốc Viện 48, Viện Công nghệ Điện tử Trung Quốc Viện 45, Nhà máy Máy móc Thượng Hải, Công ty TNHH Công nghiệp Chengdu Nanguang.
10. Hệ thống ăn mòn ion phản ứng (RIE)
Chức năng của thiết bị: điện áp tần số cao được áp dụng giữa các điện cực tấm để tạo ra lớp ion dày hàng trăm micrômet, và mô hình tác động tốc độ cao của ion được đưa vào mô hình, để đạt được sự ăn mòn phản ứng hóa học và tác động vật lý, và để đạt được quá trình xử lý chất bán dẫn và đúc.
Các thương hiệu quốc tế lớn: Công ty Evatech Nhật Bản, Công ty NANOMASTER của Hoa Kỳ, Công ty REC Singapore, Công ty JuSung của Hàn Quốc, Công ty TES của Hàn Quốc.
Các thương hiệu lớn trong nước: Nhà máy Dụng cụ Bắc Kinh, Công ty TNHH Điện tử Bắc Kinh Qixing Huachuang, Công ty TNHH Công nghiệp Thành Đô Nanguang, Tập đoàn Công nghệ Điện tử Trung Quốc Viện thứ bốn mươi tám.
11. Hệ thống khắc plasma ICP
Chức năng của thiết bị: một hoặc nhiều nguyên tử hoặc phân tử khí được trộn lẫn trong buồng phản ứng, dưới tác dụng của năng lượng bên ngoài (như tần số vô tuyến, vi sóng, v.v.) để tạo thành plasma, một mặt là nhóm hoạt động trong plasma và bề mặt vật liệu bị ăn mòn phản ứng hóa học, tạo ra các sản phẩm dễ bay hơi; Mặt khác, các ion trong plasma được dẫn hướng và tăng tốc dưới tác động của áp suất phân cực để thực hiện ăn mòn định hướng và ăn mòn gia tốc bề mặt được khắc.
Các thương hiệu quốc tế lớn: Oxford Instruments (Anh), Torr (Mỹ), Gatan (Mỹ), Quorum (Anh), Leeman (Mỹ), Pelco (Mỹ).
Các thương hiệu lớn trong nước: Nhà máy Dụng cụ Bắc Kinh, Công ty TNHH Điện tử Bắc Kinh Qixing Huachuang, Viện 48 Tập đoàn Công nghệ Điện tử Trung Quốc, Công ty TNHH Goder ion Technology (Hồng Kông), Viện Vi điện tử, Học viện Khoa học Trung Quốc, Công ty Vi điện tử Bắc , Beijing Oriental Jicheng Co., Ltd., Beijing Trands Weina Technology.
12, máy khắc ướt và làm sạch
Chức năng thiết bị: Khắc ướt là vật liệu ăn mòn được ngâm trong dung dịch ăn mòn cho công nghệ ăn mòn. Làm sạch là để giảm ô nhiễm, có thể ảnh hưởng đến hiệu suất của thiết bị, dẫn đến các vấn đề về độ tin cậy và giảm năng suất, đòi hỏi phải làm sạch kỹ lưỡng trước mỗi lớp của quy trình tiếp theo hoặc trước lớp tiếp theo.
Các thương hiệu quốc tế lớn: Screen (Nhật Bản), SEMES (Hàn Quốc), Tokyo Electron (Nhật Bản), Lam Research (Mỹ).
Các thương hiệu lớn trong nước: Nantong Hualin Kona Semiconductor Equipment Co., LTD., Beijing Qixing Huaxuang Electronics Co., LTD., China Electronics Technology Group 45th Institute, Taiwan Hongsu.
13. Máy cấy ion (IBI)
Chức năng thiết bị: pha tạp vùng gần bề mặt chất bán dẫn.
Các thương hiệu quốc tế lớn: Varian Semiconductor Equipment, Inc., CHA, INC., AMAT, Inc. và Varian Semiconductor Manufacturing Equipment, Inc. (được AMAT mua lại).
Các thương hiệu lớn trong nước: Nhà máy Dụng cụ Bắc Kinh, Viện 48, Tập đoàn Công nghệ Điện tử Trung Quốc, Công ty TNHH Công nghiệp Thành Đô Nanguang, Công ty TNHH Máy móc Công nghiệp nhẹ Shenyang Fangji, Công ty TNHH Vi điện tử hàng đầu Thượng Hải Silicon.
14, băng ghế thử nghiệm thăm dò
Chức năng của thiết bị: Thông qua tiếp xúc của đầu dò với tấm đệm của thiết bị bán dẫn, thử nghiệm điện được thực hiện để kiểm tra xem chỉ số hoạt động của chất bán dẫn có đáp ứng các yêu cầu về tính năng thiết kế hay không.
Các thương hiệu quốc tế lớn: Công ty Ingun của Đức, Công ty QA, Công ty MicroXact, Công ty Ecopia, Công ty Leeno.
Các thương hiệu lớn trong nước: Viện 45th Tập đoàn Công nghệ Điện tử Trung Quốc, Công ty TNHH Điện tử Bắc Kinh Qixing Huachuang, Công ty TNHH Ruike Instruments, Tập đoàn Huarong, Công nghệ Senmei Xieer Thâm Quyến.
15. Máy bào mỏng
Chức năng: giảm độ dày của tấm wafer bằng cách đánh bóng.
Các thương hiệu chính quốc tế: Công ty DISCO Nhật Bản, Công ty G& N của Đức, Công ty OKAMOTO của Nhật Bản, Công ty Camtek của Israel.
Các thương hiệu lớn trong nước: Công ty TNHH Công nghiệp công nghệ cao Lanzhou Lanxin, Công ty TNHH Sản xuất thiết bị mài Fonda Thâm Quyến, Công ty TNHH Sản xuất máy mài chính xác Jinzhili, Công ty TNHH thiết bị mài Weianda CÔNG TY TNHH CÔNG NGHỆ
16. Máy viết bảng (DS)
Chức năng thiết bị: Tấm wafer, được cắt thành từng miếng nhỏ của Die.
Các thương hiệu quốc tế lớn: Công ty OEG của Đức, Công ty DISCO của Nhật Bản.
Các thương hiệu lớn trong nước: Tập đoàn công nghệ điện tử Trung Quốc, Bắc Kinh Kechuang bằng cách bắt đầu thành lập công ty công nghệ quang điện nguồn, Viện công nghệ thiết bị đo đạc ở Đan Dương, công ty máy phía tây bắc, (nhà máy 709) có nhà máy sản xuất máy phía tây bắc, hui sheng điện tử công ty máy móc và thiết bị điện tử, Lanzhou: laser, một công ty công nghiệp công nghệ cao.
17. Wire Bonder
Chức năng thiết bị: Kết nối Pad trên chip bán dẫn với Pad trên chân cắm bằng dây kim loại dẫn điện (dây vàng).
Các thương hiệu quốc tế lớn: American Ottey, Đức TPT, Austria FK, Malaysia UNISEM.
Các thương hiệu lớn trong nước: Viện 45 Tập đoàn Công nghệ Điện tử Trung Quốc, Công ty TNHH Phát triển Công nghệ Transhijie Bắc Kinh, Công ty TNHH Thử nghiệm và Đóng gói Vi mạch Yuxin (Thành Đô). (Malaysia Yunisan Investment), Thâm Quyến Kaijiu Automation Equipment Co., LTD.